FIB(聚焦离子束)是将液态金属(Ga)离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号获得电子像,此功能与SEM(扫面电子显微镜)相似,或用强电流离子对原子进行剥离,以完成微纳米级表面形貌加工。通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应,有选择的剥离和切割。
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